据IHS iSuppli公司的研究，日本地震与海啸冲击全球产业供应链将近两个月之后，全球微机电系统(MEMS)产业完全复原，相对来说几乎未受到这次严重灾害的打击。

迄今为止，MEMS传感器与激励器的供应只受到轻微影响，日本地震对于全球MEMS产业的影响主要体现在需求方面，而不是供应方面。工厂受损的制造商受到的冲击比供应商更为严重，供应链中其它地方的瓶颈也在影响制造商的生产业务。

MEMS器件用于智能手机和平板电脑等多种消费电子产品，而且也用于工业、医疗和航空产业等领域。考虑到全球50家最大的MEMS制造商中有九家是日本企业，而且日本是总部在西方国家的MEMS公司的强大制造基地，日本对于MEMS生产与供应举足轻重。

2010年日本企业MEMS销售额约为13.8亿美元，占全球市场需求的21.3%。佳能、松下、爱普生和电装都位居全球20大MEMS公司之列。

根据日本MEMS厂商和在日本处理MEMS的外国公司的销售额，2010年，在不同程度上，大约占全球销售额32.5%的MEMS传感器和激励器在日本工厂中进行过处理。在日本设有MEMS工厂的西方企业包括：飞思卡尔半导体、Knowles Electronics、Goodrich Corp.和德州仪器。德州仪器数字光处理(DLP)芯片组中的CMOS电路是在日本生产的。

另外，全球几乎全部数字罗盘都是在日本生产的。这种器件正在迅速成为具备GPS功能的平板电脑和手机的标准配备。IHS iSuppli公司的研究显示，2010年全球数字罗盘出货量达到2.63亿个，比2009年的5800万个剧增354%，预计到2015年将激增到12.8亿个。AKM Semiconductor、雅马哈公司、爱知制钢和阿尔卑斯电气这四家日本公司，生产的数字罗盘合计占全球供应量的97%。

对于全球整体MEMS产业以及日本MEMS产业来说，由于地理布局方面的侥幸因素，所受损失比其它产业要轻。多数MEMS工厂和代工厂位于日本南部的本州，远离日本北方的重灾区。而且，在发生地震和海啸以前，MEMS和罗盘供应商就一直依赖多家工厂进行生产。

损害报告：只有三家工厂遭到直接破坏

IHS iSuppli公司的研究显示，位于日本的22家最重要MEMS与罗盘工厂中，只有三家受到直接破坏，不过其它19家工厂可能受到困扰整个日本的物流与供电问题影响。三家受损工厂分别属于飞思卡尔、佳能和德州仪器。图1显示了日本各地的MEMS与数字罗盘工厂分布情况。

据飞思卡尔，该公司已决定关闭接近震中的仙台150mm晶圆厂，并集中精力加快把MEMS生产转移到美国德州的200mm Oak III工厂。

飞思卡尔很幸运，其仙台工厂原本就计划在2011年底关闭，而且该公司早就建立了缓冲库存。IHS公司认为，如果不是在2009年做出了这些决策，飞思卡尔及其客户肯定会受到沉重打击。

佳能在福岛市生产打印机和MEMS打印头，而核事故就发生在该市。该公司的工厂受到严重破坏，生产已经停止。但是，佳能迅速修复了工厂，在4月的第一周全面恢复生产。IHS iSuppli公司的数据显示，这次灾害对佳能2011年MEMS销售额的影响预计非常有限。

德州仪器的美惠厂位于东京东北部，传输化学物品、燃气、水以及空气的基础设施系统已经开始修复。该公司表示，该工厂可以于 9 月份恢复全面生产。在这次震灾之前，德州仪器已经使用多家工厂生产用于DLP MEMS芯片的CMOS晶圆，而且该公司能够快速提升其它工厂的产量来弥补美惠厂的产量下降。